Виды микросистем

Интегральная микросистема: микросистема, микроустройства и элементы которой нераздельно выполнены и соединены в объеме и (или) на поверхности кристалла.
Гибридная микросистема: микросистема, содержащая компоненты, выполненные с использованием различных материалов и технологий и соединенные между собой на единой конструктивной основе.

Модульная микросистема: микросистема, конструктивно объединяющая два или более микроустройства в целях совместного применения для выполнения заданных функций.
Полная микросистема: микросистема, содержащая микроустройства или элементы, выполняющие функции приема, преобразования, хранения, передачи информации, энергии и движения и выработки управляющего воздействия в требуемых режимах и условиях эксплуатации и воздействия на окружающую среду.
(Примечание. Полные микросистемы представляют собой функционально завершенные информационно-управляюгцие системы различного функционального назначения).
Ненолная микросистема: микросистема, не выполняющая одну из функций приема, преобразования, хранения, передачи информации, энергии и движения и выработки управляющего воздействия в требуемых режимах и условиях эксплуатации и воздействия на окружающую среду.
Информационно-уиравляющая микросистема: неполная микросистема, обеспечивающая восприятие, преобразование вида и формы информации, ее хранение, обработку и последующую передачу в виде управляющего сигнала для микросистемы исполнения.
Микросистема исполнения: неполная микросистема, осуществляющая преобразование видов энергии и воздействий для выполнения заданной функции под действием сигнала от информационно-управляющей микросистемы.
Виды функциональных микроустройств в составе микросистем
Функциональное микроустройство: микроустройство в составе микросистемы, неразрывно связанное с ней конструктивно, электрически, механически и обеспечивающее выполнение заданной функции.
Электромеханическое микроустройство: микроустройство, обеспечивающее выполнение функций за счет преобразования электрической энергии в механическую.
Оптоэлектромеханическое микроустройство: микроустройство, обеспечивающее выполнение функций за счет управления оптическим сигналом или преобразования оптического воздействия с помощью электромеханического микроустройства.
Теплофизическое микроустройство: микроустройство, обеспечивающее выполнение функций за счет накопления и преобразования в микрообье- мах, в том числе обратимого, тепловой энергии в другие виды энергии.
Флюидное микроустройство: микроустройство, обеспечивающее выполнение функций за счет локализации, течения, разделения, хранения микро- и наноколичеств жидкости или газа, а также их физико-химических превращений под действием внешних электрических, магнитных, оптических, механических, тепловых и химических воздействий.
Биотехническое микроустройство: микроусгройство, обеспечивающее выполнение исполнительных функций за счет интеграции с объектами и веществами биологической природы.
Корпус микросистемы: часть конструкции микросистемы, предназначенная для защиты от внешних дестабилизирующих воздействий, используемая при выполнении заданных функций и обеспечивающая соединение с внешними электрическими цепями, механическими и другими конструкциями.
Микродвигатель: микроустройство, выполняющее управляемое преобразование какого-либо вида энергии в работу.
Микродвижитель: микроустройство, выполняющее функции автономного или управляемого движения.
(Примечание. Под движителем понимают техническое устройство, обеспечивающее перемещение в пространстве или на поверхности, например, колесный движитель, гусеничный движитель, шаговый движитель и др.).
Микроактюатор: микроустройство, выполняющие работу за счет потребления и преобразования энергии.
Элементы и компоненты микросистем
Микроподвес: элемент микросистемы, соединяющий две движущиеся части микросистемы.
Микробалка: элемент микросистемы с одним закрепленным концом.
Микробалка с двухсторонней фиксацией: элемент микросистемы с двумя закрепленными или опертыми концами.
Микроопора: элемент микросистемы, соединяющий подвижную часть конструкции с неподвижной основой — подложкой.
Микронривод: компонент микросистемы, используемый для приведения микрообъектов в состояние гармонических колебаний или вращений под воздействием управляющего сигнала.
Микротрансмиссия: компонент микросистемы, используемый для передачи вращения от микродвигателя к потребителям энергии.
Микроредуктор: компонент микросистемы, использующий зубчатую или червячную передачу для управляемого изменения угловой скорости и момента вращения микрообъекта.

Микроноршень: компонент микросистемы, который плотно перекрывает поперечное сечение микрообъекта и перемешается в направлении его оси при подаче управляющего сигнала или активирующей энергии.
Микрогребень: элемент микросистемы в форме встречноштыревой консоли, осуществляющий заданное движение под воздействием управляющего сигнала.
Микроторсион: элемент микросистемы, работающий на изгиб и кручение под воздействием управляющего сигнала.
Микроякорь: элемент микросистемы, неподвижный и служащий для закрепления других его частей или выполняющий вспомогательные конструктивно-технологические функции.
Микроограничитель: элемент микросистемы, предназначенный для заданного уровня ограничения перемещений других подвижных частей.
Микромембрана: компонент микросистемы в виде тонкой пленки или пластины, закрепленный по контуру и работающий на прогиб или вибрацию под воздействием управляющего сигнала.
Зубчатая микропередача: компонент микросистемы, предназначенный для передачи вращательного движения, изменения частоты, направления и характера вращения под воздействием управляющего сигнала.
Зубчатое микроколесо: компонент микросистемы, имеющий форму зубчатого колеса и предназначенный для передачи линейного движения, изменения скорости, направления и характера движения под воздействием управляющего сигнала.
Микрорычаг: элемент микросистемы, имеющий точку опоры и при воздействии управляющего сигнала выполняющий функцию уравновешивания большей силы меньшей.
Микрозажим: элемент микросистемы, осуществляющий управляемую фиксацию других его функциональных частей.
Микропинцет: элемент микросистемы, состоящий из двух пружинящих пластинок и выполняющий управляемую функцию захватывания и удерживания элементов микроструктуры.
Микропружина: элемент микросистемы, выполняющий функцию временного накопления энергии за счет упругой деформации при воздействии управляемой нагрузки.
Микромаховик: элемент микросистемы, выполняющий функцию аккумулятора механической энергии для выравнивания вращающих моментов и нагрузки микровалов.
Микроклапан (микрозаслонка): элемент микросистемы, выполняющий функцию управления расходом жидкости, пара или газа путем управляемого изменения площади проходного сечения.
Микропереключатель: часть конструкции микросистемы, выполняющая функцию управляемого физического замыкания или размыкания контактов.
Переменный микроищуктор: элемент микросистемы, выполняющий функцию преобразования электрической энергии в энергию переменного магнитного поля, индуктивность которого изменяется путем управляемого перемещения элементов микроструктуры.
Переменный микроконденсатор: элемент микросистемы, выполняющий функцию управляемого конденсатора, емкость которого изменяется путем перемещения элементов микроструктуры.
Управляемый микрофильтр: компонент микросистемы, обеспечивающий управляемое распространение механических воздействий или электромагнитных волн оптического диапазона.
Угловой кубический микроотражатель: компонент микросистемы, осуществляющий под воздействием управляющего сигнала модулирование интенсивности отраженного электромагнитного излучения оптического диапазона.
Микросопло: элемент микросистемы, представляющий собой канал специального профиля, предназначенный для управляемого разгона микрообъемов жидкостей или газов до заданной скорости и придания их потоку заданного направления.
Микродроссель: элемент микросистемы, обеспечивающий понижение давления микрообъемов жидкостей или газов при их прохождении через сужение в канале или пористую перегородку.
Микронасос: компонент микросистемы, выполняющий функцию управляемого напорного перемещения микрообъемов жидкости, пара или газа в результате сообщения им энергии.
Микрореактор: компонент микросистемы, в объеме которого проходят управляемые химические реакции.
Микроканал: элемент микросистемы, обеспечивающий управляемое перемещение микрообъемов жидкостей.
Представленные понятия, термины и определения в области изделий микросисгемной техники могут быть положены в основу создания системы параметров и характеристик, классификации и типовой идентификации изделий данного класса.
Авторы выражают глубокую признательность Алфимову С.М. за поддержку в проведении исследований и практических работ по проблематике изделий микросистемной техники и благодарность коллегам Борисенко Г.И., Караваеву В.В., Митину Ю.В., Мосичевой Л.И., Негиной Ю.С., Сиряченко Н.А., Соболеву В.А., Тохтуевой Н. С. за непосредственное участие и помощь в проведении работ.

<< | >>

↑

Источник: П.П. Мальцев. Нанотехнологии. Наноматериалы.. 2008

Еще по теме Виды микросистем:

- Наноматериаловедение -